Theoretische Frage zur Blende/Lichtstärke

[tabbycat]

AW: Re: Theoretische Frage zur Lichtstärke

Die Objektive, die eingesetzt werden, um aktuell höchst verdichte Schaltkreise zu produzieren und die somit auch größere Flächen ausleuchten, liegen bei einer NA um 1,35 - was einer geom. Öffnung von f/0,37 entspricht. Bezahlbar und portabel - wohl kaum:
https://www.asml.com/asml/show.do?lang=EN&ctx=46772&dfp_product_id=10567

Wobei man fairerweise noch erwähnen sollte, dass hier als Immersionsmedium nur Wasser eingesetzt wird, dessen Brechkraft ja nicht so arg hoch ist. Allerdings dürfte das optische Design dennoch kaum jemanden qualitativ zufrieden stellen. Zwar ist es auf hohe Auflösungen bei hohen Aperturen getrimmt - aber das nur monochromatisch für sehr extremes UV-Licht. Dürfte also ein ziemliches CA-Monster bei breitbandigerem Einsatz sein.

mfg tc

 

[Mi67]

AW: Re: Theoretische Frage zur Lichtstärke

Allerdings dürfte das optische Design dennoch kaum jemanden qualitativ zufrieden stellen. ... Dürfte also ein ziemliches CA-Monster bei breitbandigerem Einsatz sein.

Absolut korrekt. Fixfokus (Abbildungsmaßstab ist festgelegt), Festblende, ... kommen noch erschwerend hinzu.

 

[tabbycat]

AW: Re: Theoretische Frage zur Lichtstärke

Festblende, ... kommen noch erschwerend hinzu.

Das Ding hat natürlich keine übliche Blendenkonstruktion - aber die NA kann man schon auch ändern. Ebenso den Fokus logischerweise, mit T/S sogar , allerdings geht es da eher um Bruchteile von µm und fokussiert wird nicht die Optik sondern das Bildfeld selbst (also der Wafer) wird in allen denkbaren Freiheitsgraden bewegt. Aber nun gut, Schluss mit OT.

mfg tc